「プラズマが誘起する界面反応と表面科学」日本表面真空学会第12回関東支部セミナーのお知らせ

近年、プラズマが持つ高い反応性を化学プロセスに利用する、あるいは精密に制御する研究に注目が集まっています。プラズマ雰囲気が可能にする低温・低圧触媒反応や、半導体デバイス表面の原子層制御されたエッチング反応などがその例です。
本研究会では、触媒、原子層エッチング等へのプラズマ応用、活性種が誘起する表面反応に関する最近の研究を、第一線でご活躍の先生方にご紹介いただきます。
興味のある方は、是非ご参加ください。

詳細・お申込みは、こちらのチラシをご覧ください。

• 日時：2020年1月21日（火）
• 会場：物質・材料研究機構千現地区　研究本館1階第2会議室

主催　公益社団法人　日本表面真空学会　関東支部
共催　物質・材料研究機構　先端材料解析研究拠点、TIAかけはし
協賛　応用物理学会